대한전자공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the IEEK Conference)
- 대한전자공학회 1999년도 추계종합학술대회 논문집
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- Pages.883-886
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- 1999
LPCVD 방식으로 SiO$_2$ 위에 증착된 텅스텐 박막의 특성 분석
Characterizations of tungsten thin-film grown by LPCVD on SiO$_2$
초록
We deposited tungsten gate electrode on gate SiO
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