Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference (한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집)

The Korean Microelectronics and Packaging Society (한국마이크로전자및패키징학회)
권호 표지

Characterization of Perfluoropolymer Thin Films on TEOS Deposited by Thermal Evaporation

TEOS 산화막 위에 기상증착을 통해 성장된 불화유기박막의 특성평가

  • 차남구 (한양대학교 금속재료 공학과) ;
  • 이강구 (한양대학교 금속재료 공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교 금속재료 공학과) ;
  • 신형재 (삼성전자 중앙연구소)
  • Published : 1999.11.01
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