한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Negative Ion Beam Sputter(NIBS)를 이용한 DLC박막의 특성

Properties of DLC thin films prepared by Negative Ion Beam Sputtering

  • 김대연 (금오공과대학교 재료금속공학부) ;
  • 한규용 (금오공과대학교 재료금속공학부) ;
  • 강계원 (금오공과대학교 재료금속공학부) ;
  • 최병호 (금오공과대학교 재료금속공학부)
  • 발행 : 1999.05.01
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