Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Properties of DLC thin films prepared by Negative Ion Beam Sputtering

Negative Ion Beam Sputter(NIBS)를 이용한 DLC박막의 특성

  • 김대연 (금오공과대학교 재료금속공학부) ;
  • 한규용 (금오공과대학교 재료금속공학부) ;
  • 강계원 (금오공과대학교 재료금속공학부) ;
  • 최병호 (금오공과대학교 재료금속공학부)
  • Published : 1999.05.01
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Abstract

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