Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Structural investigation on DLC film deposited by PECVD

PECVD법으로 증착된 DLC film의 구조변화 연구

  • 송재진 (금오공과대학교 재료공학과) ;
  • 김문협 (금오공과대학교 재료공학과) ;
  • 최진혁 (금오공과대학교 재료공학과) ;
  • 노재승 (금오공과대학교 재료공학과) ;
  • 김인수 (금오공과대학교 재료공학과) ;
  • 김성진 (금오공과대학교 재료공학과)
  • Published : 1999.05.01
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Abstract

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