한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

코발트 실리사이드를 도판트 소스로 이용한 폴리사이드 게이트의 전기적 특성

Electrical Properties of Polycide Gate Formed by Using Cobalt Silicide as Diffusion Source

  • 정연실 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 김시중 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 김주연 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 배규식 (수원대학교 전자재료공학과)
  • 발행 : 1999.05.01
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