Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Microstructural Characterization of Copper Metalorganic Chemical Vapor Deposition(MOCVD)

MOCVD법으로 증착된 구리 박막의 특성평가

  • 표성규 (현대전자 선행기술연구소) ;
  • 김헌도 (현대전자 선행기술연구소) ;
  • 김삼동 (현대전자 선행기술연구소) ;
  • 김정태 (현대전자 선행기술연구소)
  • Published : 1999.05.01
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Abstract

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