Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

$TaN_x$ diffusion barrier properties against copper diffusion into silicon

$TaN_x$ 박막의 Cu 확산방지특성

  • 장유진 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 서봉석 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 박종욱 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 1999.05.01
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Abstract

Keywords