Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1999.05a
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- Pages.48-48
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- 1999
A Study on the Absorption Properties of Thinfilm-Getter for Various Impurity-Gas in High Vaccum Environment
고진공에서 존재하는 여러 불순가스에 대한 박막형 게터(Getter)의 흡수특성 연구
Abstract
Keywords