Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Analysis of microfracture of thin film structure using the electrostatic force

정전기력 인가에 의한 박막구조물의 미세파괴 특성 분석

  • 이세호 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 김재석 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 박유근 (삼성종합기술원 마이크로시스템실) ;
  • 권도일 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 1999.05.01
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