한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 1999년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.132-135
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- 1999
스핀코팅법에 의한 ($Ba_x Sr_{l-x})TiO_3$ 박막의 유전 특성에 관한 연구
The Dielectric Characteristics of ($Ba_x Sr_{l-x})TiO_3$ Thin Films by the Spin-Coating method
초록
Recently, the ceramics of high permittivity are applied to DRAM and FRAM. In this study, (B
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