한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 1999년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.29-32
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- 1999
$SF_6$ 플라즈마 방전을 이용한 G3AS-MIS 커패시터의 제작 밑 특성
Fabrication and Properties of GaAs-MIS Capacitor using $SF_6$ Plasma Discharge
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