Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1999.11a
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- Pages.195-195
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- 1999
Study on optical properties of DLC thin film with assistance gas by PECVD
PECVD법에 의한 DLC박막의 보조가스 첨가에 따른 광학적 특성 연구
Abstract
Keywords