한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

저온 poly-Si TFT의 제조시 Ion Shower Doping의 공정변수에 관한 연구

A Study on the Processing Conditions of Ion Shower Doping for the Fabrication of Low Temperature Poly-Si TFT

  • 김용수 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속.재료공학과)
  • 발행 : 1999.11.01
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