Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1999.11a
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- Pages.176-176
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- 1999
Surface roughness of poly-Si by ELA with $O_2$ plasma treatment and characteristics of poly-Si TFT
ELA(Excimer laser Annealing)에 의한 poly-Si의 $O_2$ plasma에 의한 계면 거칠기 제어와 poly-Si TFT 특성에 관한 연구
Abstract
Keywords