RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 $CaTiO_3:Pr$ 박막증착에 관한 연구

Deposition of $CaTiO_3:Pr$ Thin Films by rf Magnetron Sputtering

  • 정승묵 (경기대학교 첨단산업공학부 신소재전공) ;
  • 정영호 (경기대학교 첨단산업공학부 신소재전공) ;
  • 김영진 (경기대학교 첨단산업공학부 신소재전공)
  • 발행 : 1999.11.01