고주파 마그네트론 스퍼터 기법으로 제조된 Al:ZnO 박막의 미세구조 및 전기적, 광학적 특성

Microstructure, Electrical and Optical Properties of Al:ZnO Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputter Techniques

  • 발행 : 1999.11.01