한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 AlN박막의 우선배향성

The Preferred Orientation Growth of Aluminum Nitride Thin Films deposited by RF Magnetron Sputtering

  • 진덕용 (전북대학교 금속공학과) ;
  • 최대규 (전북대학교 금속공학과) ;
  • 이창엽 (전북대학교 반도체물성 연구센터)
  • 발행 : 1999.11.01
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