니켈 폴리사이드 게이트 전극 형성에 관한 연구

A Study on the Formation of Nickel Polycide Gate Electrode

  • 정연실 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 김시중 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 김주연 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 배규식 (수원대학교 전자재료공학과)
  • 발행 : 1999.11.01