고온열처리에서 산소석출물 형성과 표면결함 제거에 관한 효과

Effect of High Temperature RTA on the Oxygen precipitate formation and the COP dissolution

  • 박형국 (한양대학교 일반대학원 전자공학과) ;
  • 이곤섭 (한양대학교 일반대학원 전자공학과) ;
  • 박재근 (한양대학교 산업대학원)
  • 발행 : 1999.11.01