한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

유도결합 플라즈마를 이용한 GaN 및 InP의 건식 식각에 관한 연구

Reactive Ion Etching of GaN & InP Using Inductively Coupled Plasma

  • 정석용 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 박철희 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 김성대 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 김호성 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 이병택 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 허증수 (경북대학교 금속공학과)
  • 발행 : 1999.11.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드