PZT Sputtering Target 제작

Fabrication of PZT sputtering target

  • 이기성 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 조준석 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 이문희 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 송정식 (어플라이드 사이언스)
  • 발행 : 1999.11.01