한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

고주파 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 응력 형성과 박막 특성에 미치는 영향

The Stress Formation and its Effects on the Properties of ZnO Thin Films Deposited by RF Sputtering

  • 곽상현 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 이재빈 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 김형준 (서울대학교 공과대학 재료공학부)
  • 발행 : 1999.11.01
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