Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Surface and Bulk Defect on Bonded SOI Wafers

접합형 SOI 웨이퍼에 존재하는 결함분포

  • 이곤섭 (한양대학교 첨단반도체 소재/소자 개발연구소) ;
  • 박정민 (삼성전자 반도체 생산기술팀) ;
  • 이재선 (한양대학교 첨단반도체 소재/소자 개발연구소) ;
  • 곽계달 (한양대학교 첨단반도체 소재/소자 개발연구소) ;
  • 박재근 (한양대학교 첨단반도체 소재/소자 개발연구소)
  • Published : 1999.11.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords