한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Cu 산화 공정과 H(hfac)을 이용한 Cu 박막의 건식 식각

Cu film dry etch by oxidation and H(hfac) process

  • 양희정 (국민대학교 금속재료공학과) ;
  • 조범석 (국민대학교 금속재료공학과) ;
  • 이재갑 (국민대학교 금속재료공학과)
  • 발행 : 1999.11.01
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