Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Cu film dry etch by oxidation and H(hfac) process

Cu 산화 공정과 H(hfac)을 이용한 Cu 박막의 건식 식각

  • 양희정 (국민대학교 금속재료공학과) ;
  • 조범석 (국민대학교 금속재료공학과) ;
  • 이재갑 (국민대학교 금속재료공학과)
  • Published : 1999.11.01
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