Effect of Annealing on the Electrical Properties of Metal/SiC Contact

열처리가 금속/탄화규소 접촉의 전기적인 특성에 미치는 영향에 관한 연구

  • 나훈주 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 정재경 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 엄명윤 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 김상덕 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 김형준 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 1999.11.01