Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1999.11a
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- Pages.75-75
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- 1999
A Study on the Deposition Behavior of Amorphous Silicon and Silicon Germanium Thin Film for the Formation of Quantum Dot of Single Electron Transistor
단일 전자 소자용 양자점 형성을 위한 비정질 실리콘과 실리콘-게르마늄 박막의 증착 거동에 대한 연구
Abstract
Keywords