Interfacial Reaction and Defects in $SrRuO_3$ Thin Film Deposited on Si, $SrTiO_3$(100) Substrates

Sr, $SrTiO_3$/(100) 기판 위에 증착된 $SrRuO_3$박막의 계면반응과 결함구조

  • 오상호 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 박찬경 (포항공과대학교 재료금속공학과)
  • Published : 1999.11.01