Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1999.11a
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Pages.73-73
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1999

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Characterization of Surface Defect on SIMOX Wafers

SIMOX 웨이퍼의 표면 결함 특성

유상동 (한양대학교) ;
이재선 (한양대학교) ;
박정민 (삼성전자 반도체사업부) ;
박재근 (한양대학교)

Published : 1999.11.01

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Abstract

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