Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on the Deposition of Low Hydrogen Si Thin Films and Properties of poly-Si TFTs using ELC Processes

저수소화 비정질 Si 박막 증착 및 ELC poly-Si TFT의 특성 연구

  • 한상용 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 최재식 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 권도현 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 박성계 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 남승의 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 김형준 (홍익대학교 금속·재료공학과)
  • Published : 1999.11.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords