ZnO 박막을 이용한 Solidly Mounted Resonator의 제조

Fabrication of Solidly Mounted Resonators using ZnO films

  • 이재빈 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 곽상현 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 김형준 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 박희대 (한국쌍신전기주식회사 기술연구소) ;
  • 김영식 (한국쌍신전기주식회사 기술연구소)
  • 발행 : 1999.11.01