한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

기상증착 다이아몬드 웨어퍼 제조시 잔류응력의 평가 및 영향 분석

Analytical Study of Residual Stress Effect in CVD Processed Diamond Wafer

  • 정증현 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 이소윤 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 권동일 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 백영준 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)
  • 발행 : 1999.11.01
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