졸겔법을 통한 microbattery용 $LiCoO_2$ 박막의 제조

Preparation of $LiCoO_2$ thin film for microbattery by sol-gel process

  • 김문규 (한국과학기술원 재료공학과 전자세라믹 연구실) ;
  • 박규성 (한국과학기술원 재료공학과 전자세라믹 연구실) ;
  • 손종태 (동아전기) ;
  • 김진균 (한국과학기술원 재료공학과 전자세라믹 연구실) ;
  • 박용준 (한국과학기술원 재료공학과 전자세라믹 연구실) ;
  • 김호기 (한국과학기술원 재료공학과 전자세라믹 연구실)
  • 발행 : 1999.11.01