Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

AlN electrostatic chuck의 제작과 특성에 관한 연구

  • 정광진 (울산대학교 재료금속공학부) ;
  • 최성호 (울산대학교 재료금속공학부) ;
  • 박용균 (울산대학교 재료금속공학부) ;
  • 이영섭 (울산대학교 재료금속공학부) ;
  • 이태수 (울산대학교 재료금속공학부) ;
  • 조동율 (울산대학교 재료금속공학부) ;
  • 천희곤 (울산대학교 재료금속공학부)
  • Published : 1999.07.01
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Abstract

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