Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1999.07a
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- Pages.77-77
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- 1999
고에너지 중이온 TOF-ERDA를 이용한 박막분석
- Hong, Wan ;
- Woo, Hyung-Joo ;
- Kim, Young-Seok ;
- Kim, Gi-Dong ;
- Kim, Jun-Gon ;
- Choi, Han-Woo
- 홍완 (한국자원연구소 지구환경연구부) ;
- 우형주 (한국자원연구소 지구환경연구부) ;
- 김영석 (한국자원연구소 지구환경연구부) ;
- 김기동 (한국자원연구소 지구환경연구부) ;
- 김준곤 (한국자원연구소 지구환경연구부) ;
- 최한우 (한국자원연구소 지구환경연구부)
- Published : 1999.07.01
Abstract
박막시료의 분석에는 RBS, XPS, SIMS, AES 등이 주로 이용되고 있으며, 특히 RBS는 비교체가 필요없고 정량성이 좋다는 장점 때문에 중요하다. 그러나 RBS는 원리적으로 경원소에 대한 감도가 낮아 기판원소보다 무거운 질량을 갖는 원소의 분석에만 이용되는 것이 보통이다. 이러한 단점을 보완하기 위해 본 연구에서는 수년전부터 RBS와 비슷한 원리를 갖고 같은 장비를 이용하여 수행이 가능한 경원소 분석법인 TOF-ERDA(Time of Flight Elastic Recoil detection)을 개발하여 실용화 하였다. 본 연구실에서 보유하고 있는 미국 NEC사의 5SDH 가속기는 최대 가속전압이 1.7MV로 Cl5+ 이온을 사용하는 경우 10 MeV가 최대 가속에너지가 된다. 이런 정도의 에너지 범위에서는 TOF spectrometer의 시간분해능이 아주 높을 필요가 없고 비교적 작은 가속기로도 분석이 가능하며, 수소의 검출효율이 우수하다는 점 등 많은 장점이 있다. 그러나 한편으로는 분석가능한 깊이가 수천
Keywords