Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1999.07a
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- Pages.67-67
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- 1999
비정질 실리콘 박막의 초기성장 연구
Abstract
기판위에 증착되는 박막에서 박막의 초기성장을 분석하는 것은 최종적으로 성장된 박막을 더욱 효과적으로 성장시킬 수 있다는 장점이 있다. 따라서 본 연구는 두께가 수십
Keywords
기판위에 증착되는 박막에서 박막의 초기성장을 분석하는 것은 최종적으로 성장된 박막을 더욱 효과적으로 성장시킬 수 있다는 장점이 있다. 따라서 본 연구는 두께가 수십