자화된 고밀도 유도결합형 플라즈마를 이용한 ppZT 식각특성에 관한 연구

• 이영준 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 장제욱 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 김도형 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 오경희 (국립기술품질원 신뢰성과) ;
• 이재찬 (성균관대학교 재료공학과) ;
• 염근영 (성균관대학교 재료공학과)

• Published : 1999.02.01