Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

1999.02a
/
Pages.161-161
/
1999

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

유도결합형 플라즈마 발생기(Inductively Couppled pplasma Source)에서 발생되는 산소 플라즈마의 특성연구

김종식 (한양대학교-안산) ;
김곤호 (한양대학교-안산) ;
염근영 (성균관대학 재료공학과) ;
권광호 (한서대학 전자공학과)

Published : 1999.02.01

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords