플라즈마 소스 이온 주입기에서 형성되는 시변환 쉬스연구

  • 김영우 (한양대학교-안산 물리학과) ;
  • 김곤호 (한양대학교-안산 물리학과) ;
  • 한승희 (한국과학기술원 특성분석센터) ;
  • 홍문표 (삼성전자 AMLCD 사업부)
  • 발행 : 1999.02.01