Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

1999.02a
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Pages.156-156
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1999

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

플라즈마 소스 이온 주입기에서 형성되는 시변환 쉬스연구

김영우 (한양대학교-안산 물리학과) ;
김곤호 (한양대학교-안산 물리학과) ;
한승희 (한국과학기술원 특성분석센터) ;
홍문표 (삼성전자 AMLCD 사업부)

Published : 1999.02.01

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Abstract

Keywords