초박막 Al2O3 산화막의 제작 및 High Resolution Electron Energy Loss Sppectroscoppy에 의한 구조연구

  • 이명복 (경북대학교 전자전기공학부) ;
  • 이정희 (경북대학교 전자전기공학부) ;
  • 이용현 (경북대학교 전자전기공학부) ;
  • 이종현 (경북대학교 전자전기공학부)
  • 발행 : 1999.02.01