이온빔 증착법에 의한 다이아몬드상 카본필름의 특성

  • 김성화 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 이광렬 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 은광용 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)
  • Published : 1999.02.01

Abstract

Keywords