Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Si이 첨가된 DLC 필름의 탄성특성 평가

  • 정진원 (한국과학기술연구원 박막기술연구센타) ;
  • 조성진 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 이광렬 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 고대흥 (연세대학교 세라믹공학과)
  • Published : 1999.02.01

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Abstract

Keywords