진공 여과 아크법에 의해 제작된 다이아몬드상 카본필름의 특성

  • 신진국 (한국과학기술연구원, 박막기술연구센터) ;
  • 이철승 (연세대학교 세라믹 공학과) ;
  • 김종국 (한국과학기술연구원, 박막기술연구센터) ;
  • 이광렬 (한국과학기술연구원, 박막기술연구센터)
  • Published : 1999.02.01

Abstract

Keywords