한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

RF-Magnetron Bias Spputtering을 이용한 Yttria-Stabilized Zirconia(YSZ) 박막특성 평가

  • 박준용 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 배정운 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 김기동 (한국가스공사 이용 기기 연구실) ;
  • 조영아 (한국가스공사 이용 기기 연구실) ;
  • 전진석 (한국가스공사 이용 기기 연구실) ;
  • 최동수 (한국가스공사 이용 기기 연구실)
  • 발행 : 1999.02.01

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