Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Ultra thin 산화막의 재산화에 따른 박막구조를 변화 : in-house X-ray를 이용한 X선 반사율 실험

  • 윤상배 (청주시 흥덕구 향정동 LG반도체(주) 중앙연구소) ;
  • 박상혁 (청주시 흥덕구 향정동 LG반도체(주) 중앙연구소) ;
  • 박주철 (청주시 흥덕구 향정동 LG반도체(주) 중앙연구소) ;
  • 최홍민 (청주시 흥덕구 향정동 LG반도체(주) 중앙연구소)
  • Published : 1999.02.01

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Abstract

Keywords