Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

초고전력 마그네트론 원을 이용한 pp-si증착 공정의 ion extraction grid효과에 관한 연구

  • 박헌규 (성균관대학교 금속공학과) ;
  • 남경훈 (성균관대학교 금속공학과) ;
  • 한전건 (성균관대학교 금속공학과)
  • Published : 1999.02.01

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Abstract

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