Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Cl2-based dry etching of GaN and InGaN using inductively couppled pplasma : the effect of gas additives

  • 이지면 (광주과학기술원 신소재공학과 전자재료연구센터) ;
  • 박성주 (광주과학기술원 신소재공학과 전자재료연구센터)
  • Published : 1999.02.01

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Abstract

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