대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 G
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- Pages.3274-3275
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- 1999
고 전압 FED용 Spacer형성 기술 개발
Development of spacer formation techni4ue for high-voltage FED application
- 강문식 (한국과학기술연구원 정보재료.소자연구센터) ;
- 주병권 (한국과학기술연구원 정보재료.소자연구센터) ;
- 이윤희 (한국과학기술연구원 정보재료.소자연구센터) ;
- 유건호 (경희대학교 물리학과) ;
- 오명환 (한국과학기술연구원 정보재료.소자연구센터)
- Kang, M.S. (Electronic Materials and Device Research Center, KIST) ;
- Ju, B.K. (Electronic Materials and Device Research Center, KIST) ;
- Lee, Y.H. (Electronic Materials and Device Research Center, KIST) ;
- Yu, K.H. (Department of Physics, Kyung-hee univ) ;
- Oh, M.H. (Electronic Materials and Device Research Center, KIST)
- 발행 : 1999.07.19
초록
This paper presents a new method of spacer assembly using anodic bonding method which is very simple and clean. The spacer having
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